Главная
Ионизационные манометры
Ионизационные манометры, строго говоря, измеряют не давление, а плотность газа, так что приведенные формулы для давления предоставляют интерес лишь в том случае, когда применяются которые показывают, что в некоторой области давление может быть максимальным, а плотность (благодаря наличию потока) — минимальной. Если ионизационный манометр при 40° С измеряет давление газа, выходящего из ловушки с жидким азотом (Т==—196°С), то плотность газа в головке манометра равна приблизительно половине плотности над ловушкой. Конечно изменения давления благодаря этому эффекту малы по сравнению с ощибками, возникающими из-за установки манометра в седле откачивающего насоса, а также вблизи холодной ловушки или поверхности криогенного насоса.
где П\ и п2 — соответственно плотности газа в манометре и в камере, a v\ и v2—соответствующие средние скорости. Эта формула просто констатирует, что при состоянии равновесия потоки газа в обоих направлениях должны быть равны и противоположны.
где П\ и п2 — соответственно плотности газа в манометре и в камере, a v\ и v2—соответствующие средние скорости. Эта формула просто констатирует, что при состоянии равновесия потоки газа в обоих направлениях должны быть равны и противоположны.
Проектирование схемыБели решено выполнять схему в тонкопленочыом варианте, то при ее проектировании следует придерживаться определенных критериев. Часто оказывается (Возможным «переработать» существующую конструкцию в тонкопленочныи вариант, но лучше проектировать схему специально для танкоиленочной технологии.
Разработка полупроводниковых интегральных схемДругим основным фактором, влияющим на выбор технологии, является высокая стоимость оборудования, необходимого для изготовления ИС. В тех случаях, когда важна функциональная гибкость или требуется ограниченное число экземпляров, можно попытаться уменьшить расходы на оборудование, используя индивидуальную обработку ИС на некоторых этапах их изготовления.
Таким образом, в настоящее время при проектировании ИС исходят в большей степени из технологических возможностей, чем из каких-либо общих ограничений, свойственных микроэлектронике. Конструкции камерыВследствие особенностей конструкции камеры и откачивающей установки плотность (или давление) хаотической составляющей потока не зависит от положения датчика .[(т. е. ix=const), так что полярная диаграмма построена только для тока |gg который пропорционален плотности Пи. При отверстии ионного детектора, расположенном на расстоянии 10 см от резинового диска, и при нормальном угле падения газового потока ток а, что ориентировочно соответствует давлению в потоке //н (т. е. величине, измеренной датчиком) около Ю-7 тор. Ионный ток и давление, соответствующие хаотической составляющей, равны ix—7,5-Ю-9 а и /?х= = Ю-5 тор.
Интегрируя полярную диаграмму, показанную на рис. 3, учитывая скорость газа (эквивалентного азоту) и выражая результат в нормальных для вакуумной техники единицах, получим, что полная скорость десорбции равна приблизительно 1,5-Ю-3 лтор/сек. Так как рх есть равновесное давление, определяемое равенством Q=S0px (где Q— полная скорость течения газа и So — производительность откачивающего насоса, равная 600 л/сек), то Q = 6 10~3 л тор/сек и десорбция из резинового диска составляет 25% от общего потока газа. Скорость десорбции из материала Buna N в данном случае была приблизительно в сто раз выше нормальной, так как диск до этого лежал на рабочей скамье и был поэтому загрязнен. Скорость бомбардировки. |