Если параметрический прибор имеет малые размеры по сравнению с длиной волны усиливаемого сигнала (например, если обычный плоскостной диод используется для усиления звуковых квантов), то указанное выше фазовое соотношение необходимо и достаточно. Если, однако, мы имеем усилитель с бегущей волной, например упомянутый ранее усилитель на железоиттриевом гранате, то необходимо, чтобы волны сигнала, накачки и холостой частоты оставались в фазе в течениевсего времени прохождения через нелинейную усилительную среду. Это возможно только, если фазовые скорости всех трех волн одинаковыйли, на языке оптикгдвдвдцгде k]f2,3 — волновые векторы сигнала, холостой частоты и накачки соответственно.

В Англии большинство ранних работ по ТПС было посвящено вакуумному осаждению тонких пленок на стеклянные подложки. Эта технология была доведена до высокой степени совершенства и был достигнут значительный прогресс в производстве таким способом дост i-точно сложных схем. В частности, большое количество схем было изготовлено по специальным военным требованиям.
Тем не менее, теперь ясно, что как в Англии, так и в США большинство ТПС изготавливаются на керамических подложках. Для некоторых целей были использованы стеатиты с малыми потерями, но наибольшее , распространение нашли керамические материалы, имеющие в своем составе большой процент окиси алюминия (от 80 до 95% А1203). Преимуществом последних является большая механическая прочность и высокая теплопроводность.

Селективное травление различных металлов не является новым процессом [6], но применительно к полностью окисленным нихромовым резисторам и золотым электродам оно представляет известные трудности. Дубление фоторезистов следует проводить при повышенной температуре, чтобы сделать их стойкими к тем кислотам, которые способны травить нихром и золото. В настоящее время селективное травление этих металлов освоено и позволяет получить следующие преимущества:
1) вакуумное осаждение резистивного и проводящего металлов достигается при одной откачке, что исключает загрязнение, а также необходимость в точных масках и маскодержателях;
2) предотвращается окисление поверхностей раздела между двумя металлами.