Такое ограничение полярности напряжения на затворе было устранено в 1963 г. Хофстейном и Хейманом [4], которые отделили металлический электрод затвора от полупроводника изолятором в виде тонкого, термически выращенного слоя двуокиси кремния.
Это был полевой транзистор с изолированным затвором со структурой МОП (см. стр. 16). На рис. 3,6 показана его конструкция. Здесь управляющий электрод может иметь и положительный и отрицательный потенциал по отношению к истоку, без какого-либо постоянного тока в управляющей цепи и без вреда для прибора (вплоть до напряжения на управляющем электроде порядка 10 в). Однако, как мы видим, токовый капал снова приблизился к поверхности, чего стремился избежать Шокли.

Естественная смесь кремния и БЮг в виде порошка - -удобный материал для испарения. Он не плавится, но легко сублимирует из тигля, поэтому наиболее подходящим источником является молибденовая лодочка с сетчатым колпачком.

Особенности развития микроэлектроники делают в настоящее время невозможным исключение указанных выше кропотливых операций. Поскольку мы обратились к микроэлектронике из-за стремления к малым габаритам, необходимо было разработать и соответствующие методы сборки интегральных систем.