Главная
Шум
В то же время у них должен иметь место тепловой шум обусловленный флуктуациями тока основных носителей из-за их рассеяния в кристаллической решетке. Этот шум должен быть «белым», а его природа — та же, что и в газовой плазме. Мелкие ловушки, распределенные вдоль канала, будут непрерывно заполняться и освобождаться, увеличивая таким образом флуктуации тока и белый шум. При очень больших напряженностях поля в тонкой изолирующей пленке возможна медленная миграция ионов, что приводит к конечному сопротивлению утечки между затвором и каналом и вносит дополнительную составляющую шума.
Одним из наиболее неприятных свойств тонкопленочных активных элементов является исключительно высокий шум типа 1//, диапазон которого может простираться вплоть до 10 Мгц и выше. Этот шум вероятнее всего связан с заполнением и освобождением глубоких ловушек на поверхности, так как у. полевых транзисторов с р-п затвором шум типа 1// становится ничтожным на частотах выше 1 кгц. Другим доказательством в пользу поверхностно-ловушечного происхождения этого шума служит тот факт, что тонкопленочные полевые транзисторы в режиме обеднения (когда заряды удалены от поверхности) имеют меньший низкочастотный шум, чем в режиме обогащения.
Одна и та же малосигнальная эквивалентная схема (рис. 13) пригодна как для полевых, так и для тонкопленочных транзисторов; значения символов на схеме очевидны.
Одним из наиболее неприятных свойств тонкопленочных активных элементов является исключительно высокий шум типа 1//, диапазон которого может простираться вплоть до 10 Мгц и выше. Этот шум вероятнее всего связан с заполнением и освобождением глубоких ловушек на поверхности, так как у. полевых транзисторов с р-п затвором шум типа 1// становится ничтожным на частотах выше 1 кгц. Другим доказательством в пользу поверхностно-ловушечного происхождения этого шума служит тот факт, что тонкопленочные полевые транзисторы в режиме обеднения (когда заряды удалены от поверхности) имеют меньший низкочастотный шум, чем в режиме обогащения.
Одна и та же малосигнальная эквивалентная схема (рис. 13) пригодна как для полевых, так и для тонкопленочных транзисторов; значения символов на схеме очевидны.
ФотографированиеСтепень уменьшения фотооригинала выбирается в соответствии с допусками, требуемыми на окончательной стадии, и площадью окончательного изображения. Естественно, если эта площадь весьма велика, скажем 5х Х2,5 см, и мультипликация неприемлема, то 20-кратное уменьшение будет максимально возможным с соответствующими ограничениями на допуски. Если же схема занимает площадь 0,25X0,25 см, то возможно 100-кратное уменьшение; кроме того, в этом случае можно размножить изображение и получить маску, содержащую сто или более изображений.
Используемый объектив должен иметь достаточную разрешающую способность и давать плоское изображение. Вакуумное напылениеВакуумное напыление 1[7]. Вакуумное напыление является, по-видимому, наиболее широко распространенным методом для "приготовления тонких пленок всех типов. Описано большое количество испарителей и вакуумных систем, а иногда упоминаются специальные устройства для диэлектриков с высокой температурой плавления [8,9]. I
Чаще всего напыляемые диэлектрические пленки имеют тенденцию к кристаллизации. Однако некоторые материалы (например, SiO или ZnS) являются аморфными, хотя во время роста имеют отчетливо (выраженную островковую структуру. Эта особенность хорошо иллюстрируется на примере ZnS—распространенного диэлектрика с относительной диэлектрической проницаемостью 10 и с низкими потерями. На рис. 12 показан микрорельеф пленки ZnS, напыляемой на подложку из монокристалла LiF, при толщине пленки около 8 А, т. е. на ранней стадии процесса. Можно заметить, что зерна ZnS собираются вдоль слоев подложки. Транзисторная логика с резистивно-емкостными связями (РЕТЛ)Как уже отмечалось, величина R$ в РТЛ определяется компромиссом между быстродействием и нагрузочной способностью, которая ограничена неравенством базовых токов. Это неравенство можно устранить, выбирая большие Re, но при этом снижается быстродействие из-за уменьшения закрывающего тока /Закр, увеличения необходимых перепадов напряжения и «интегрирования» сигнала во время открывания транзистора (благодаря наличию входной емкости со стороны базы). Решение этих проблем достигается включением «ускоряющего» конденсатора, шунтирующего большое сопротивление ?б. Такая структура (рис. 2,а) известна как транзисторная логика с резистивно-емкостными связями (РЕТЛ). Назначение конденсатора С проиллюстрировано рис. 2,5. Пусть в начальном состоянии триод Т закрыт, триоды Г2, Г3 и т. д. открыты, а конденсаторы заряжены до напряжения Uc. Предположим, что Тх мгновенно насыщается, гак что начальный ток, вытекающий из каждой базы, равен
При |