В приведенном примере общее давление газа с хаотическим распределением скоростей и парциальное давление компонента, десорбированного диском, велики по сравнению с давлением расширившегося первичного пучка молекул, исходящего из резины. Теперь посмотрим, что произойдет, если сильно увеличить производительность насоса. Будем полагать что при этом не появляется никакого направленного потока газа, кроме того, который исходит от десорбирующего диска. Этого можно достигнуть, например, монтируя панель криогенного насоса внутри камеры. Если теперь S равно 6-Ю4 л/сек, то рх упадет до 10~7 тор, а /?д—-до 2,5 Ю-8 тор, но распределение интенсивности молекулярного потока от резинового диска с увеличением S не изменится и величине /?/н=Ю-7 тор на поверхности подложки будет соответствовать скорость бомбардировки, в четыре раза большая, чем в случае газа с хаотическим распределением.
Недавно были проделаны опыты по измерению эмиссии газа с испарителя при повышении температуры. Испаритель представлял собой металлическую ленту с круглым углублением, заполненным MgF2 или SiO. Эмиссия газа происходила по закону косинуса, характерному для малого источника, т. е. так же, как в эксперименте с резиновым диском.
Проведенный анализ показывает, что низкое давление, получаемое путем большой скорости откачки (в противовес большой скорости десорбции), может не обеспечить условий, необходимых для того, чтобы избежать загрязнения подложки направленным молекулярным потоком. В последние годы были созданы системы напыления, компоненты которых имеют высокую степень десорбции, но высокий вакуум поддерживается криогенными насосами или напыленными пленочными геттерами. Последние могут обеспечить скорость откачки в десятки тысяч литров в секунду при поверхности поглощения несколько тысяч квадратных сантиметров. Часто такой аппаратуре приписывают сверхвысоковакуумные свойства, но, вообще говоря, условия вакуума в них не сравнимы с условиями, достигаемыми в установках сверхвысокого вакуума, изготовленных из материалов, подвергнутых термической дегазации и поэтому имеющих малую скорость выделения.
В вакуумной технике, однако, есть тенденция игнорировать различие между такими системами в силу традиционного представления об ограниченном «вакууме» как статической среде. Конечно, в некоторых случаях (например, в космических системах)когда имеется большая скорость образования газа, нужно обеспечить большую скорость откачки, чтобы получить удовлетворительный вакуум. И все же важно знать характер и направление перемещения газа внутри камеры. В настоящее время такие эксперименты проводятся автором и его сотрудниками.