В ряде случаев электрические испытания дополняют испытаниями при повышенных температурах. Во время испытаний на старение к образцу прикладывают максимальное напряжение при повышенной температуре; температура окружающей среды регулируется так, чтобы получить максимальную температуру на переходе (на этой стадии элементы не имеют теплоотвода). Поскольку кремниевые компоненты не герметизированы, производится непосредственный контроль состава окружающей атмосферы, особенно во время испытаний, связанных с высокой температурой. Элементы хранятся на печатных платах до тех пор, пока они не потребуются для сборки в корпусе.
Герметизация. При сборке в корпусе обеспечивается высокая степень герметизации, в частности путем согласования коэффициентов-теплового расширения в местах соединения стекла с металлом. На рис. 9 показа-
ны четыре варианта основного корпуса. Наибольший корпус имеет с двух сторон до 37 выводов и может иметь установочные штифты для увеличения теллоотво-да. Крышка корпуса крепится при помощи электроннолучевой сварки.
Сборка и испытание. Керамические пластинки-носители снимаются с печатных плат и крепятся к основанию корпуса при помощи тугоплавкого припоя (для этого обратная сторона керамической пластинки предварительно металлизируется). В каждом корпусе можно расположить до 24 керамических пластинок, в зависимости от требований к размещению тонкопленочных элементов.
Стеклянные подложки с расположенными на них проверенными тонкопленочными резисторами и конденсаторами монтируются на обеих сторонах пластинок-носителей. Для соединений между подложками и пластинками используют те золотые проводники, которые ранее (при испытаниях) прикреплялись к печатной плате. Соединения между внешними выводами и подложками выполняются при помощи дополнительных термокомпрессионных связей.
До полной герметизации корпуса проводятся беглые электрические испытания, а также термоциклирование и центрифугирование (15 ООО g). Повреждение любого термокомпрессионного соединения, выявленное на этой стадии, быстро исправляется. Затем приваривается крышка и в корпус вводится сухой азот через капиллярную трубку.
Готовый корпус подвергается всесторонним испытаниям по программе, соответствующей техническим условиям на пленарные транзисторы. Типичная схема испытаний следующая:
1. Хранение при 200° С в течение 96 ч.
2. Термоцикл от —70 до +150° С.
3. Испытание на центрифуге (20 000 g в течение 1 мин).
4. Проверка герметизации давлением.
5. Электрические испытания.
6. Старение в течение 48 ч при максимально допустимых режимах.
7. Электрические испытания.
8. Хранение в нерабочем состоянии в течение 14 дней.
9. Электрические испытания.
На рис. 7 показана закопченная субсистема перед окончательной герметизацией.