Степень уменьшения фотооригинала выбирается в соответствии с допусками, требуемыми на окончательной стадии, и площадью окончательного изображения. Естественно, если эта площадь весьма велика, скажем 5х Х2,5 см, и мультипликация неприемлема, то 20-кратное уменьшение будет максимально возможным с соответствующими ограничениями на допуски. Если же схема занимает площадь 0,25X0,25 см, то возможно 100-кратное уменьшение; кроме того, в этом случае можно размножить изображение и получить маску, содержащую сто или более изображений.
Используемый объектив должен иметь достаточную разрешающую способность и давать плоское изображение. Специальные линзы перекрывают площадь 2,5X Х2,5 см с разрешающей,способностью до 200 линий/мм при использовании специального источника света и фиксированной степени уменьшения.
Эмульсии типа «Lith» приемлемы для целого ряда масок и часто применяются на промежуточных ступенях уменьшения фотооригинала. Эмульсии со сверхвысоким разрешением (Kodak М. R.) обычно используются на окончательной стадии, когда требуются более точные допуски. Такие фотопластины обладают исключительной контрастностью и обеспечивают разрешение лучше чем 1 500 линий/мм.
Мультипликация изображений
Если окончательная маска содержит изображение, повторенное сотни и даже тысячи раз, то часто оказывается невозможным получить ее простым уменьшением фотооригинала. В таких случаях вычерчивается одно изображение, которое затем уменьшается либо сразу До окончательного размера с последующей мультипликацией, либо до промежуточного размера с последующей мультипликацией и уменьшением всего комплекса до окончательных размеров. Для этой цели используются два типа мультипликаторов. Один повторяет изображение путем передвижения негатива относительно пласти-
ны и методом контактной печати дает масштаб изображения 1:1. В другом передвигается пластина, на которой объектив с высокой разрешающей способностью фокусирует изображение, уменьшенное до окончательного размера.
На рис. 1 представлена схема контактного мультипликатора. Негатив с изображением, имеющим окончательные размеры, находится на подвижной каретке, а пластина располагается над ней с очень небольшим зазором. Положение каретки фиксируется с помощью нониуса или микрометрических винтов. Держатель негатива и держатель пластины могут поворачиваться на 360°, что необходимо для юстировки. Одно из основных преимуществ этого метода заключается в возможности одновременного отпечатка нескольких изображений. шШШ исключает ошибки совмещения в окончательном наборе масок. В этой установке можно использовать обычные пластины с эмульсией галлоидного серебра, но особенно подходящими являются описываемые ниже пленки из сернокислого свинца, покрытые фоторезистом.
На рис. 2 показан оптический мультипликатор, который совмещает операцию повторения с уменьшением изображения до окончательного размера. В этой установке негатив либо передвигается ступенями с экспозицией после каждого смещения, либо движется непре-
рывно, но освещается импульсной ксеноновой лампой с продолжительностью вспышки несколько микросекунд. Последний метод обеспечивает значительно более высокую производительность по сравнению со ступенчатым.