• Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура

Главное меню
  • Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура
  • Интегральные схемы
Главная Интегральные схемы Фотокамера с точечным отверстием

Фотокамера с точечным отверстием

Фотокамера с точечным отверстием в качестве объектива [3] также может служить для получения матрицы идентичных элементов. Основным преимуществом является низкая стоимость прибора. Однако разрешающая способность такой системы хуже, чем линзовой и сильно ограничивается площадью и шагом растра. Такая конструкция может с успехом использоваться для получения небольших матриц для исследовательских целей.
После изготовления образцового негатива одним из описанных методов обычно требуются копии и часто в больших количествах. Копии могут быть выполнены методом контактной печати с образцового негатива на пластину с высокой разрешающей способностью, но это обычно приводит -к потере четкости. Другой метод состоит в печати с образцового негатива на пластину, покрытую слоем сернокислого свинца и бихроматной эмульсией. Сначала стеклянная подложка очищается и химическим способом покрывается слоем сернокислого свинца. Затем на подложку при помощи пульверизатора наносится эмульсия из бихрамата и шеллачного лака, после чего пластина готова ж печати. Она экспонируется в ультрафиолетовом свете и проявляется в концентрированном растворе хлорида кальция, наносимого при помощи хлопчатобумажной ткани. Затем пластина промывается обезвоженным метиловым спиртом, просушивается, и сернокислый свинец травится в восстанавливающем растворе Фармера. Покрытие из фоторезиста можно удалить 5%-ньим раствором гидроокиси натрия. Четкость краев изображения, полученного таким способом, исключительно высока, и процесс хорошо воспроизводим. Основным недостатком шаблонов из сернокислого свинца является то, что они легко царапаются и имеют небольшой срок службы.
В настоящее время для шаблонов, используемых при массовом производстве, вместо сернокислого свинца предпочитают использовать хром. Процесс изготовления таких шаблонов следующий.
Стеклянная пластина очищается, подвергается химическому серебрению и покрывается слоем эмульсии из бихромата и шеллачного лака. Дальнейшая процедура аналогична описанной для сернокислого свинца; серебро также протравливается в восстанавливающем растворе Фармера, а резист удаляется. Затем на всю подложку напыляется хром. Наконец, плата погружается в другую ванночку с восстановителем Фармера, который растворяет серебро и в то же время смывает расположенную сверху пленку хрома. На нужных участках стеклянной подложки остается хромовая пленка, исключительно прочная и стойкая к царапинам.
 


.