1. Длина слова: 24 двоичные единицы.
2. Структура слова: 14 двоичных единиц —рсновнол адрес; 3 двоичные единицы — адрес семи рабочих накопителей и источника констант; 5 двоичных единиц — для 32 возможных операций, из которых используется 30; 2 двоичные единицы - - адрес трех накопителей используемых в качестве преобразующих регистров.
Введение. В некоторых бортовых электронных субсистемах типа операционного усилителя необходимы компоненты, которые не могут быть получены в форме кремниевых ИС. Например, в таких субсистемах часто требуются резисторы с очень малыми допусками, лежащими за пределами возможностей диффузионных методов, или резисторы с очень малыми температурными коэффициентами, которые также не могут быть выполнены на кремнии. Чтобы удовлетворить, этим требованиям и обеспечить малые размеры и высокую надежность, необходимые в бортовой аппаратуре, были разработаны гибридные субсистемы, в которых тонкопленочные компоненты комбинируются с кремниевыми ИС в едином малогабаритном корпусе (рис. 7). В результате значительно упрощается коммутация схем и уменьшается число соединяемых элементов. Такая субсистема описывается в следующих подразделах.
Требования к субсистеме. При разработке субсистемы типа операционного усилителя оказалось возможным выделить несколько функций, которые успешно peaлизуются при помощи кремниевых линейных ИС. Соответственно было разработано несколько таких стандартных схем, которые используются как основные ячейки субсистемы. Однако к некоторым пассивным компонентам предъявляются требования, выходящие за пределы возможностей технологии кремниевых ИС. Эти пассивные компоненты относятся к двум категориям: первая
включает те компоненты, которые определяют общие характеристики системы и не могут быть изготовлены в кремнии в связи с необходимостью малых допусков и высокой температурной стабильности, вторая — те компоненты, которые, образуя часть усилительного каскада, не могут быть включены в ИС по соображениям стандартности модулей. Примерами этой категории являются развязывающие конденсаторы и резисторы для кор-рекции дрейфа, которые зависят от назначения прибора и меняются от усилителя к усилителю.
Тонкопленочные компоненты. Для упрощения процессов производства тонкопленочные резисторы и конденсаторы напыляются на разные подложки. Для обоих процессов применяются подложки из боросиликатного стекла.
Резисторы получают напылением нихрома; их удельное сопротивление непрерывно контролируется в течение всего процесса напыления. На нихром напыляется слой золота, который затем утолщается гальванизацией до 7,5 мк, так что готовые проводники на этих образцах имеют низкое сопротивление и пригодны для термокомпрессионного соединения. Селективное травление слоев золота и нихрома определяет окончательную форму резисторов и проводников. Для контроля качества проверяют температурный коэффициент сопротивления, адгезию нихромовой пленки к стеклянной подложке, и прочность связи с золотой пленкой.