• Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура

Главное меню
  • Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура
  • Интегральные схемы
Главная Интегральные схемы Неправильное измерение давления

Неправильное измерение давления

Выше было показано, что в непрерывно откачиваемой системе существуют направленные потоки газа, которые выражены тем сильнее, чем в большей степени локализовано выделение газа. Рассмотрим теперь неточности, возникающие при измерении давления, когда используется формула для равновесного состояния S0/?x=Q. Если молекулы газа поступают во всасывающее сопло насоса хаотически (поскольку диаметр камеры больше, чем диаметр насоса, и молекулы газа из любого локализованного источника рассеиваются при столкновениях со стенками), то равновесное давление можно измерить, размещая датчик манометра (рис. 1) либо на основной плате, либо на цилиндре камеры (на расстоянии радиуса камеры от основной платы).
Тем не менее иногда вследствие неосведомленности или из коммерческих соображений или просто вследствие беззаботности монтируют датчик манометра в трубе диффузионного насоса. В других случаях только входное отверстие манометра оказывается расположенным вблизи азотной ловушки над насосом. Когда датчик находится в трубопроводе насоса, он показывает давление ниже истинного давления в камере. Это легко объяснить, если учесть постоянство потока газа в системе Sipi—StPz, где Si и S2 —скорости откачки соответственно в камере и у всасывающего раструба, р\ и /?2 — соответствующие равновесные давления. Когда только входное отверстие датчика направлено в сторону азотной ловушки, будет иметь место дополнительное снижение давления в датчике вследствие беспрепятственной локальной откачки, которая обусловлена ловушкой.
Азотная ловушка обеспечивает высокую скорость откачки в случае водяных и органических паров, которые играют главную роль в непрокаленных вакуумных системах. Азотной ловушкой может быть также захвачен целый ряд неконденсируемых газов, например водород. Если азотная ловушка расположена в трубопроводе диффузионного насоса и головка манометра смонтирована рядом с ловушкой, манометр может показывать установившееся давление 10~6 тор, тогда как истинное давление в камере превышает 10~4 тор. Даже в случае применения мейснеровской ловушки можно получить ложные данные о давлении в камере, если не обеспечить сравнения показаний нескольких датчиков, помещенных в различных точках камеры.
 


.