• Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура

Главное меню
  • Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура
  • Интегральные схемы
Главная Интегральные схемы

Конструкции камеры

Вследствие особенностей конструкции камеры и откачивающей установки плотность (или давление) хаотической составляющей потока не зависит от положения датчика .[(т. е. ix=const), так что полярная диаграмма построена только для тока |gg который пропорционален плотности Пи. При отверстии ионного детектора, расположенном на расстоянии 10 см от резинового диска, и при нормальном угле падения газового потока ток а, что ориентировочно соответствует давлению в потоке //н (т. е. величине, измеренной датчиком) около Ю-7 тор. Ионный ток и давление, соответствующие хаотической составляющей, равны ix—7,5-Ю-9 а и /?х= = Ю-5 тор.
Интегрируя полярную диаграмму, показанную на рис. 3, учитывая скорость газа (эквивалентного азоту) и выражая результат в нормальных для вакуумной техники единицах, получим, что полная скорость десорбции равна приблизительно 1,5-Ю-3 лтор/сек.
Так как рх есть равновесное давление, определяемое равенством Q=S0px (где Q— полная скорость течения газа и So — производительность откачивающего насоса, равная 600 л/сек), то Q = 6 10~3 л тор/сек и десорбция из резинового диска составляет 25% от общего потока газа. Скорость десорбции из материала Buna N в данном случае была приблизительно в сто раз выше нормальной, так как диск до этого лежал на рабочей скамье и был поэтому загрязнен.
Скорость бомбардировки.

Подробнее...

 

Ионизационные манометры

Ионизационные манометры, строго говоря, измеряют не давление, а плотность газа, так что приведенные формулы для давления предоставляют интерес лишь в том случае, когда применяются которые показывают, что в некоторой области давление может быть максимальным, а плотность (благодаря наличию потока) — минимальной. Если ионизационный манометр при 40° С измеряет давление газа, выходящего из ловушки с жидким азотом (Т==—196°С), то плотность газа в головке манометра равна приблизительно половине плотности над ловушкой. Конечно изменения давления благодаря этому эффекту малы по сравнению с ощибками, возникающими из-за установки манометра в седле откачивающего насоса, а также вблизи холодной ловушки или поверхности криогенного насоса.
где П\ и п2 — соответственно плотности газа в манометре и в камере, a v\ и v2—соответствующие средние скорости. Эта формула просто констатирует, что при состоянии равновесия потоки газа в обоих направлениях должны быть равны и противоположны.

Подробнее...

 

Кинетика процессов в вакууме

Чтобы определить условия роста пленок в вакууме, необходимо знать окорости испарения и осаждения, температуру подложки, состав газа и скорость его компонентов в момент соударения с подложкой. В непрерывно -откачиваемых вакуумных системах существует свободный ноток молекул от источника (или источников) газа к насосу. Поэтому логично предположить, что состав, плотность и скорость молекул газа различны в разных точках вакуумного объема (рис, П.Наряду с молекулами напыляемого вещества на подложку попадают молекулы газа, десорбированные из стенок системы, уплотнений и нагревателя. Во время напыления давление может упасть ниже предельного давления насоса благодаря действию геттеров или уже существенно возрасти вследствие выделения газов.
В большинстве случаев вакуум определяют »путем измерения остаточного давления газа с помощью ионизационного манометра.

Подробнее...

 

Вакуумная физика в технологии осаждения

Системы вакуумного осаждения играют важную роль в -производстве и разработке твердосхемных и тонкопленочных приборов, применяемых в микроэлектронике.
В многочисленных статьях по физическим и химическим свойствам -пленок, полученных испарением в вакууме и катодным напылением, указывается, что структура и чистота таких пленок в основном зависят от условий их роста.

Подробнее...

 

Изготовление трафаретов

Трафареты могут быть изготовлены.при помощи образцового негатива различными методами. Их можно получить путем селективного (химического или электролитического) травления металлической фольги или «путем гальванического осаждения металла на проводящую поверхность, не -покрытую изолирующим слоем фоторезиста.

Подробнее...

 
Еще статьи...
  • Фотокамера с точечным отверстием
  • Фотографирование
  • Типы масок
  • Фотомеханические методы в микроэлектронике

<< Первая < Предыдущая 1 2 3 4 5 6 Следующая > Последняя >>

Страница 2 из 6


.