• Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура

Главное меню
  • Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура
  • Интегральные схемы
Главная Подложки для тонкопленочных схем Отношение числа атомов

Отношение числа атомов

Отношение числа атомов, оставшихся на подложке, ко всему числу бомбардирующих атомов называется коэффициентом конденсации. С практической точки зрения эта величина важна по двум причинам. Во-первых, ионизационные или лопастные измерители скорости позволяют непосредственно определить атомный поток. При этом обычно допускается, что коэффициент конденсации равен единице. При любом отклонении от этой величины толщина пленки окажется меньше расчетной. Как правило, коэффициент конденсации металла на таком же металле равен единице, но при совместном испарении металла и диэлектрика (например, для образования ме-таллокерамической пленки) коэффициент конденсации компонентов не равен единице, так как ни один из них при этом не конденсируется сам на себе. Интегрирование скорости напыления по времени напыления может
водит к обр&зойашио временных диполей, которые cmvl собны индуцировать в других молекулах синфазные диполи, и это приводит к притяжению между молекулами. Энергия взаимодействия равна
где cci и (Х2 — поляризуемость двух атомов; г — расстояние между ними; h — постоянная Планка; vt и  — характеристические частоты.
Было показано, что hyx и hv2 приблизительно равны энергиям ионизации взаимодействующих атомов, откуда можно вычислить значение v. Атом с энергией ионизации 10 в имеет частоту диполя 3 1015 гц. При этом величина ван-дер-ваальсовских сил не
 


.