Ввиду отсутствия установившейся I терминологии в микроэлектронике необходимо -прежде всего определить, что мы понимаем под «тонкопленочными схемами». В данной главе схемы такого типа классифицируются следующим образом:
— пассивная подложка;
— напыленные проводники;
— напыленные резисторы;
— напыленные или навесные конденсаторы;
— напыленные или навесные индуктивности;
— навесные активные полупроводниковые приборы. По ско л ьку п р едд а г а ем а я к л асси фик а ция в к л юч ает
дополнительные дискретные компоненты, указанные схемы не являются истинно тонкошюноч,ными и их лучше было бы называть гибридными интегральными схемами Типичная тонкопленочная схема показана на рис. 1 В данной конструкции стеклянная подложка имеет размеры 30x20X1 мм. На ней расположены нихромовые резисторы, золотые "проводники и алюминиевые электроды конденсаторов, а в качестве диэлектрика использована моиоокись кремния. Транзисторы и диоды укреплены в отверстиях стеклянной подложки, а межсоединения
выполнены при помощи пайки.