Естественная смесь кремния и БЮг в виде порошка - -удобный материал для испарения. Он не плавится, но легко сублимирует из тигля, поэтому наиболее подходящим источником является молибденовая лодочка с сетчатым колпачком. Необходим мощный источник питания, так как лодочка из молибденового листа толщиной 50 мк представляет низкое сопротивление и типичное значение тока доходит до 150 а. Контроль затруднен тем, что смесь не плавится, а сублимирует. Температура лодочки обычно равна 1 250° С, но, очевидно, зависит от тепловых условий внутри лодочки и контакта между лодочкой и порошком.
Так как структура пленки неизвестна, методы контроля за осаждением несколько произвольны, но, судя по электрическим свойствам пленок, скорость осаждения 16—18 А/сек является оптимальной. При этом на низших радиочастотах диэлектрическая проницаемость &=6, a tg б —0,015-г-0,02, что отвечает требованиям большинства схем, за исключением специальных фильтров и высокочастотных схем, где существенны малые потери.
Аппаратура для изготовления таких диэлектрических пленок (и соответствующих электродов) аналогична той, которая используется при изготовлении резисторов. Верхняя пластина конденсатора напыляется методом свободной маски, так как при этом края электродов размыты и механические напряжения меньше, чем при резко очерченных краях.
Если требуются конденсаторы с емкостью, большей нескольких сотен пикофарад, можно использовать материалы с более высокой диэлектрической постоянной, но они еще не разработаны в форме тонких пленок и едва ли дадут величины емкостей на несколько порядков больше уже полученных. В настоящее время единственным решением этой проблемы является использование навесных электролитических конденсаторов.
Там, где необходимы конденсаторы большой емкости, можно использовать многослойные конденсаторы стойким диэлектриком, например толщиной 1 §00 А. Однако для этого требуется очень точное конструирование. Конденсатор, использующий в качестве диэлектрика пятиокись тантала [7], имеющий 10 слоев толщиной 1 000 А каждый и площадь пластин 1 см2, обладал бы емкостью 2,5 мкф. Такой конденсатор был бы очень полезен в качестве разделительного в транзисторных схемах.