Для иллюстрации характерных процессов выбрана типичная схема, показанная на рис. 1. Это «резонансный усилитель, содержащий резисторы, конденсаторы (постоянные и подстроечные) и катушку индуктивности: Окончательная структура (топология) тонкопленочной интегральной схемы показана на рис. 2.
После того как принята такого рода топология, изготавливают чертежи оригиналов, которые далее фотографируются с одновременным уменьшением размеров до требуемой величины. Чертежи могут быть выполнены на бристольском картсне; однако этот материал имеет плохую стабильность в присутствии влаги и потому не рекомендуется. Пластмассовые материалы (обычно на полиэфирной основе) более стабильны, но требуют предварительной обработки абразивами или разбавленным нашатырным спиртом для того, чтобы специально изготовленные чернила смачивали поверхность и давали контрастное черное изображение. Для печатных схем обычно применяется уменьшение размеров в четыре раза, однако для микроминиатюрных схем этого недостаточно. Если ширила линии на подложке должна быть 0,25 мм (обычная ширина для резисторов с допуском ±0,025 мм), то необходимая точность вычерчивания составляет ±0,025 мм, что нельзя обеспечить обычными методами. Масштаб в 20: 1 приводит уже к приемлемому допуску ±0,5 мм, который лежит в пределах возможностей чертежников. Последующее за-
полнение больших площадей контрастными черными чернилами или краской представляет утомительный процесс, но он необходим, если с этих оригиналов нужно получить первоклассные негативы.
Другой способ изготовления оригиналов, требующий меньшей квалификации операторами тем не менее обеспечивающий большую точность и значительно большую скорость вычерчивания, разработан Британским радиолокационным ведомством. Этот способ основан на использовании комплекта белых пластмассовых пластин различной ширины и длины. Каждая пластина имеет несколько штифтов с одной из сторон. Пластины могут прикрепляться к матовой черной доске, если вставлять штифты в отйерстйй, просверленные или пробитые в доске с определенным шагом (6,25 мм).
Таким способом можно выполнить сложные оригиналы, используя всего несколько шаблонов различной конфигурации. При необходимости к комплекту плоских пластин можно добавить кривые, квадраты и т. п.; при этом значительно .возрастает возможная номенклатура оригиналов. Масштаб принят равным 25: 1, и минимальная ширина линии на подложке составляет 0,125 мм. Пример плоской Спиральной катушки (32 витка, линия
ширмой 0,125 мм с такими же промежутками между витками, индуктивность 12,5 мкгн), выполненной на наборной доске, приведен на рис. 3, общий вид рабочего места показан на рис. 4.
Для получения возможно более сильного контраста между черными и белыми участками применяются фотоэмульсии типа Lith. Слабое изображение неиспользованных отверстий дает полутона, которые не проявляются на негативе.
Оригиналы, вычерченные вручную, можно фотокопировать, размещая на вакуумном держателе; при этом, как и в случае применения наборной доски, используется отраженный свет. Если же оригиналы выполнены на полупрозрачной пластмассовой основе, то большие преимущества имеет техника фотокопирования в проходящем свете.