• Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура

Главное меню
  • Главная
  • Физика приборов
  • Подложки для тонкопленочных схем
  • Технология интегральных схем
  • Аппаратура
  • Интегральные схемы
Главная Технология интегральных схем Стадия макетирования

Стадия макетирования

Когда стадия макетирования закончена и вычерчены фотооригиналы, приступают к изготовлению шаблонов для каждого из шести или более этапов технологического процесса. Шаблоны изготавливают на хорошо укрепленном листе двухслойного пластика надрезанием и удалением полосок верхнего слоя с использованием прецизионной координатной сетки (рис. 7).
Окружности могут быть сделаны при помощи циркульного устройства, а линии, расположенные под углом к основным осям, — путем поворота базовой платформы. Применения кривых линий следует избегать. Полученный оригинал шаблона на первом этапе фотографируется с соответствующим уменьшением размеров, а затем переносится в мультипликационную камеру, где на пластинке площадью около 10 см2 отпечатывается окончательный шаблон, содержащий примерно 200 схем. Основной причиной дороговизны оборудования является высокая степень точности, которая требуется при изготовлении этих шаблонов (один из них воспроизведен на рис. 8). Точность расположения деталей на каждом изображении должна быть не хуже 2 ж/с, и такой допуск необходимо выдерживать не только в пределах одного изображения, но и по отношению ко всей серии изображений. Более того, такие же строгие допуски должны выдерживаться на любой из шести других пластин, чтобы обеспечить точное совмещение.
 


.