Для иллюстрации характерных процессов выбрана типичная схема, показанная на рис. 1. Это «резонансный усилитель, содержащий резисторы, конденсаторы (постоянные и подстроечные) и катушку индуктивности: Окончательная структура (топология) тонкопленочной интегральной схемы показана на рис. 2.
После того как принята такого рода топология, изготавливают чертежи оригиналов, которые далее фотографируются с одновременным уменьшением размеров до требуемой величины. Чертежи могут быть выполнены на бристольском картсне; однако этот материал имеет плохую стабильность в присутствии влаги и потому не рекомендуется. Пластмассовые материалы (обычно на полиэфирной основе) более стабильны, но требуют предварительной обработки абразивами или разбавленным нашатырным спиртом для того, чтобы специально изготовленные чернила смачивали поверхность и давали контрастное черное изображение.

С точки зрения потребителя, важнейшими показателями интегральных схем (ИС) являются стоимость, надежность и рабочие характеристики. Эти показатели определяются всем технологическим комплексом, детали которого различны у разных фирм. В большинстве случаев при выборе блоков цифровой аппаратуры разработчик рассматривает их как «черные ящики» и производит оценку конкурирующих блоков по следующим показателям:
Стоимость, отнесенная к числу выполняемых функций.
При использовании этой оценки следует проявлять большую осторожность, поскольку сравнительные цифры могут быть некорректными; лучше всего сравнивать стоимости наиболее характерных узлов разрабатываемой системы.

Комплект шаблонов, которые во время технологического процесса обеспечивают заданную топологическую геометрию отдельных элементов, является основой производства полупроводниковых ИС. Шаблоны изготовляются в следующей последовательности: требуемый рисунок вычерчивается или вырезается, фотографируется с. уменьшением масштаба и размножается в пределах одного и того же негатива, так что на площади в несколько квадратных сантиметров размещается огромное количество идентичных рисунков. Процесс размножения изображений иногда осуществляют на промежуточной стадии уменьшения масштаба, а иногда уже при окончательном размере негатива. Полученная пластина является эталоном и должна быть весьма совершенной, потому что она используется для производства копий методом контактной печати.

Естественная смесь кремния и БЮг в виде порошка - -удобный материал для испарения. Он не плавится, но легко сублимирует из тигля, поэтому наиболее подходящим источником является молибденовая лодочка с сетчатым колпачком.